日本東芝超精機(jī)
型號(hào)：ULG-100AC（H）
功能：超精車和超精磨一體機(jī)
出廠時(shí)間：2001年；
除了高速、高精度、高剛性、低發(fā)熱性和高可靠性，還實(shí)現(xiàn)了精密損耗精度
研磨主軸：20nm/SPAM
工作主軸：5nm/SPAM (*1)
高可重復(fù)性，高加工效率
超低摩擦力導(dǎo)軌整合了本公司的原創(chuàng)高研磨技術(shù)和精選高精度軋輥，對納米范圍進(jìn)給速率響應(yīng)度高，消除了逆向進(jìn)給的延遲。該導(dǎo)軌系統(tǒng)的剛性和穩(wěn)定性高于靜液壓/空氣靜力軸承導(dǎo)軌，但精度能保持相似。
高精致加工
通過采用滾珠螺桿驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，我們開發(fā)并利用*的耦合器，解決了滾珠螺桿旋轉(zhuǎn)所造成的常見應(yīng)力和振蕩問題。
型號(hào) ULG-100E(HY)
直線行程
軸
X 軸 (mm) 220
Y 軸 (mm) 20
Z 軸 (mm) 150
編程
分辨率 (nm) 1
工作臺(tái)進(jìn)給速率(mm/min)
X、Z：500
Y： 300
工作主軸
旋轉(zhuǎn)速度(min-1) 0-1500
真空吸盤直徑 (mm) π100
C 軸功能 配件 標(biāo)配
研磨主軸速度 (min-1) 5000-40000 10000-60000
B 軸車削
工作臺(tái) 進(jìn)給速率（度/分鐘） - 0-1080
編程
分辨率（度） - 0.0001
聯(lián)系電話：13522079385
